高温等离子体PFC气体分解

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物，可复合水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。

PFC气体全称全氟化合物|（PRE FLUORO CARBON），常见的有CF4、C2F5、CHF3等气体。PFC的地球温室效应系数（global warming potential，缩写GWP）比CO2要高数千倍甚至数万倍（如CF4寿命50000年），因此，相对少量的PFC排入大气，也会产生很大累计效果，对地球温室效应具有长期深远影响，PFC气体在排入大气前需要进行无害化分解处理。

现代工业生产中，特别是半导体产业和LCD液晶面板产业中，PFC气体由于具有相对较低的价格、无毒、使用方便、效果好等优势，被广泛用于干法蚀刻工艺气体和化学气相沉积（chemical vapor de-position CVD）装置洗净等工程中。

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物，如CO2、HF、COF2，接着进行水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。整个工艺过程不需要特别燃料，燃烧效率高，没有多余副产物气体生成，体积小，利于增设在现有设备上，价格相对低廉，是PFC气体无害化处理最理想的方法。