江苏中科爱维欧环保工程有限公司

联系电话

0516-83877851

高温等离子体PFC气体分解

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物,可复合水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。


PFC气体全称全氟化合物|(PRE FLUORO CARBON),常见的有CF4、C2F5、CHF3等气体。PFC的地球温室效应系数(global warming potential,缩写GWP)比CO2要高数千倍甚至数万倍(如CF4寿命50000年),因此,相对少量的PFC排入大气,也会产生很大累计效果,对地球温室效应具有长期深远影响,PFC气体在排入大气前需要进行无害化分解处理。

微信图片_20210531235826.png

现代工业生产中,特别是半导体产业和LCD液晶面板产业中,PFC气体由于具有相对较低的价格、无毒、使用方便、效果好等优势,被广泛用于干法蚀刻工艺气体和化学气相沉积(chemical vapor de-position CVD)装置洗净等工程中。

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物,如CO2、HF、COF2,接着进行水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。整个工艺过程不需要特别燃料,燃烧效率高,没有多余副产物气体生成,体积小,利于增设在现有设备上,价格相对低廉,是PFC气体无害化处理最理想的方法。



联系我们


江苏中科爱维欧环保工程有限公司

电话:0516-83877851

手机:177-1839-3220

邮件:ZKAVOHB@163.com

地址:江苏省徐州市云龙区绿地商务城LOFT6号楼921室


友情链接:中国生态环境部    ׀ 北极星环保网 ׀  中国固废网  ׀  江苏省生态环境厅  江苏省环境科学研究院   ׀  徐州市生态环境局   ׀  环保在线中国水网中国环境网  ׀  中国环保信息网  ׀  中国环保产业协会  ׀  中华环保联合会  ׀  中国循环经济协会  ׀  E20环境平台  

姓名
*
电话
*
内容
*
验证码
 换一张
*
提交
会员登录
登录
其他账号登录:
留言
回到顶部