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高温等离子体PFC气体分解

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物,可复合水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。


PFC气体全称全氟化合物|(PRE FLUORO CARBON),常见的有CF4、C2F5、CHF3等气体。PFC的地球温室效应系数(global warming potential,缩写GWP)比CO2要高数千倍甚至数万倍(如CF4寿命50000年),因此,相对少量的PFC排入大气,也会产生很大累计效果,对地球温室效应具有长期深远影响,PFC气体在排入大气前需要进行无害化分解处理。

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现代工业生产中,特别是半导体产业和LCD液晶面板产业中,PFC气体由于具有相对较低的价格、无毒、使用方便、效果好等优势,被广泛用于干法蚀刻工艺气体和化学气相沉积(chemical vapor de-position CVD)装置洗净等工程中。

高温等离子炬分解法对PFC气体高温分解转换成低分子量和亲水性极性化合物,如CO2、HF、COF2,接着进行水雾吸收中和工艺进一步清除有害气体。整个工艺过程不需要特别燃料,燃烧效率高,没有多余副产物气体生成,体积小,利于增设在现有设备上,价格相对低廉,是PFC气体无害化处理最理想的方法。



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